市場で最も小型の産業用UV(紫外)イメージングデバイス
Alvium UVカメラモデルは、200nmから400nmの波長帯用に特別に設計された、有効画素数8.1MPの革新的なソニー社製CMOSセンサー「Pregius S IMX487」を搭載しています。このため、高解像度、高フレームレートかつ低ノイズの高画質UVイメージ画像を必要とする近紫外域および中紫外域において、産業および科学イメージングの多様な用途に最適なカメラです。UV(紫外)カメラは、SWIR(短波赤外)カメラと同様に、被写体固有の分光特性を明確に可視化し、かつ微小な欠陥を可視化するため、肉眼では見えない隠れた欠陥を明確に可視化できます。Alvium UVモデルは、MIPI CSI-2、USB3 Vision(FPD-Link IIIおよびGSML2規格レンジエクステンダーを含む)、GigE Vision、5 GigE VisionのI/Fに対応した製品をラインナップしています。
以下にて詳細情報をご覧いただけます。
用途
半導体検査
半導体製造業では、ウエハーやフォトマスクの製造工程において、微小な汚染物質やパターン欠陥を検出するための正確な検査が必要です。波長が短いUV(紫外線)を利用するため、被写体表面のムラを極めて高感度に検出できます。Alvium UVカメラは、この特性を利用して微小物体の欠陥を検出します。同カメラは、高感度かつ低ノイズを特徴とし、高精度な検査を可能にします。
プラスチック選別
Alvium UVカメラは、可視光カメラとは異なり、様々な被写体に固有のUV透過率を利用するため、通常光の下では透明に見えるプラスチックやガラスのような被写体を区別できます。このため、Alvium UVカメラはリサイクル現場にて貴重なツールとして活用されます。
コロナ放電
Alvium UVカメラは専用のフィルターを搭載しているため、このようなコロナ放電を可視化し、電力システム内の劣化部品を早期に検出しやすくします。UVイメージングを活用して適時メンテナンスと修理を実施すれば、ダウンタイムを短縮し、高価な機器の故障を防止できます。